ИСТИНА

Предложен комбинированный метод моделирования оптической анизотропии тонких пористых пленок. Атомистический метод, основанный на классической молекулярной динамике, разработанный ранее в [1,2], используется для моделирования высокоэнергетического осаждения тонких пленок диоксида кремния. Усредненные параметры формы пор, определяющие анизотропные свойства пористых тонких пленок, рассчитываются с использованием оригинальной модели, основанной на методе Монте-Карло. Модель обладает высокой численной эффективностью и может быть применена к любым пористым атомистическим кластерам, полученным с помощью методов молекулярной динамики, Монте-Карло или баллистического подхода. Число атомов в кластере может достигать десятков и сотен миллионов атомов. Величины диагональных компонент тензора показателя преломления рассчитываются в рамках континуального приближения анизотропной эффективной среды [3]. Разработанный комбинированный метод протестирован путем сравнения численных и аналитических результатов для модельных задач. Метод применен к тонким пленкам диоксида кремния и диоксида титана [4]. Полученные результаты согласуются с экспериментальными данными. Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ, грант 19-11-00053.