|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Воздействие легких и тяжелых ионов инертных газов низких энергий на нанопористые материалыдоклад на конференции
- Авторы: Sycheva A.A., Voronina E.N.
- Международная Конференция : 25-я Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2021)"
- Даты проведения конференции: 23-27 августа 2021
- Дата доклада: 24 августа 2021
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Sycheva A.A.
- Место проведения: Ярославль, Russia
-
Аннотация доклада:
In this study main structural changes that occur in nanoporous structures under low-energy ion irradiation are described. The molecular dynamics simulations were carried out for silicon models that are structural analogues of porous films with low dielectric constant. Different mechanisms of the interaction of light and heavy low-energy ions with nanoporous structures are discussed.
- Добавил в систему: Сычева Анастасия Александровна