ИСТИНА

Kучшими функциональными группами для иммобилизации на кремниевую поверхность являются силаны. В данной работе впервые были получены полимерные OSTE+ композиции, содержащие силановые группы. Для введения силановых групп был использован 3-меркаптопропилтриэтоксисилан (MS). Благодаря наличию в составе MS концевой тиольной группы происходит его взаимодействие с винильными группами мономера при УФ-инициированной полимеризации. При дальнейшем нагреве полученного полимера с кремниевой подложной происходит взаимодействие силановых групп с поверхностными OH-группами оксида кремния, что приводит к образованию прочных ковалентных связей полимер-подложка. Полученные в данной работе полимерные композиции могут найти широкое применение в микроэлектронной технике.