ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Выполнено экспериментальное исследование скорости процесса плазмохимического осаждения алмазоподобных покрытий в парах толуола в емкостном высокочастотном разряде. Показано, что в диапазоне ВЧ мощностей 100-300 Вт основное влияние на скорость осаждения оказывает давление толуола в вакуумной камере. Максимальная полученная скорость осаждения составила 4,15 мкм/ч.