|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Изучение оптических спектров плазмы тлеющего разряда при осаждении тонких пленокдоклад на конференции
- Авторы: Полушкин В.М., Тимофеев М.А., Суетин Н.В., Самородов В.А.
- Международная Конференция : X Международная Научно Техническая Конференция. Тонкие пленки в электронике
- Даты проведения конференции: 1994
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва-Йошкар-Ола, Россия, стр. 14-18, Russia
- Добавил в систему: Самородов Владимир Анатольевич