ИСТИНА

Плазма находит множество применений в различных областях: в производстве микроэлектроники, чипов, микромеханических систем, в обработке поверхностей и плазменной резке материалов. Для фундаментальных исследований в области квантовой физики наиболее важны возможности использовать плазму в изготовлении структур необходимых для экспериментов, например, фотонных кристаллов, фотонных ловушек, искусственных атомов и других устройств необходимых для исследований. Это обусловливает актуальность изучения плазмы и ее взаимодействия с поверхностью для квантовых и фотонных технологий. При производстве современных устройств, требуется достигать крайне высокой точности изготовления, поэтому крайне желательно достигать высокой степени контроля за концентрацией частиц в разряде. В разрядах низкого давления в молекулярных газах рекомбинация молекул после диссоциации происходит преимущественно на стенках разрядной камеры, а не в объеме разряда, что обуславливает значимость изучения поверхностных реакций для контроля за технологическими процессами. Для экспериментального изучения поверхностной рекомбинации используют, в том числе метод модуляционной актинометрии совместно с решением кинетических уравнений в приближении среднего поля и невзаимодействующих частиц в адсорбционном слое, однако не во всем диапазоне макропараметров и не для всех материалов эти предположения позволяют достичь нужной точности результатов. Более полное описание поверхностных реакций можно достичь с применением Монте-Карло методов, в том числе возможно учесть взаимодействие между частицами внутри адсорбционного слоя. В работе с помощью прямого метода Монте-Карло рассчитана вероятность поверхностной рекомбинации в условиях газового разряда низкого давления и проведен анализ полученных результатов и их применимости для анализа экспериментальных данных получаемых с помощью метода модуляционной актинометрии. Работа выполнена при поддержке Междисциплинарной научно-образовательной школы Московского университета «Фотонные и квантовые технологии. Цифровая медицина».