|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдуваниядоклад на конференции
- Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
- Международная Конференция (Симпозиум) : XXVI Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
- Даты проведения конференции: 14-18 марта 2022
- Дата доклада: 14 марта 2022
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: НИжний Новгород, Russia
-
Аннотация доклада:
Разработана методика оценки радиуса кривизны тонкопленочных мембран. На примере SiNх/SiО2/SiNх/SiО2 и Al мембран показано, что форма мембраны отличается от сферической ближе к области закрепления и к области вершины. Наблюдается тенденция к увеличению радиуса кривизны по мере приближения к центру мембраны.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна