ИСТИНА

Фазовый переход полупроводник-металл, проявляющийся у диоксида ванадия при 68оС, интересен с точки зрения применения в различных устройствах из-за резкого изменения оптических и электрических свойств. Однако фазовая диаграмма ванадий-кислород сложна из-за проявления всех степеней окисления от +2 до +5 и дробных степеней в оксидах. Фазы, граничащие с VO2 на фазовой диаграмме, обладают куда менее привлекательными свойствами, такими как более низкая температура фазового перехода, из-за чего примеси этих оксидов превращают низкотемпературную фазу VO2 из диэлектрика в «плохой металл». Добиться однофазности можно с помощью изопиестического отжига пленок в равновесных pO2-T условиях существования VO2, для чего необходимо знать граничные условия окисления и восстановления этой фазы. Данные, представленные в литературе, немногочисленны и неоднозначны, поэтому их уточнение является актуальной задачей. Равновесия VO2 с фазами Магнелли лучше изучено за счет более высокой верхней температурной границы, с другой стороны экспериментальные данные для равновесия при температуре ниже 1000 К также достаточно редки. Таким образом, цель нашей работы - экспериментальное исследование температурных зависимостей равновесных давлений кислорода, ограничивающих область существования фазы VO2 в том числе и при температурах от 600 оС.