![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследована зависимость электропроводности тонких углеродных пленок на изолирующих подложках от скорости набора дозы при импульсной имплантации ионов аргона при фиксированных значениях Е=30 кэВ, D=1017 ион/см2.