ИСТИНА

В докладе приводится обзор современных расчетных методик, используемых для моделирования взаимодействия ионов с веществом, включая метод молекулярной динамики и теорию функционала плотности. Применение расчетных методик иллюстрируется на конкретных примерах, таких как расчет траекторий рассеянных и распыленных атомов, моделирование влияния кристаллической структуры на регистрируемые спектры рассеяния/распыления, иллюстрация эффектов каналирования, затенения и многократного рассеяния. Отдельно рассматривается изучение состава поверхности с помощью рассеяния медленных ионов и влияние зарядового обмена ионов на регистрируемые спектры рассеянных частиц. В заключении дается краткий обзор применения расчетных методик для разработки интегральных схем и моделирования процесса их создания, где важную роль играет взаимодействие ионов с поверхностью.