ИСТИНА

Диоксид ванадия – перспективный материал электронной техники с фазовым переходом диэлектик-металл. Возможность существования оксидов ванадия со всеми степенями окисления от +2 до +5, включая промежуточные, создает трудности в получении однофазного диоксида ванадия, обладающего узкой областью гомогенности. Одной из возможностей обеспечения однофазности - изопиестический отжиг пленок в равновесных pO2-T условиях существования. Таким образом, цель нашей работы – экспериментальное исследование температурных зависимостей равновесных давлений кислорода, ограничивающих область существования фазы VO2 как со стороны окисления и восстановления. Проведены измерения равновесного давления кислорода для геттерных смесей V8O15/V9O17, V9O17/VO2 и VO2/V6O13. Получены значения энтальпий и энтропий для фаз V8O15, V9O17 и V6O13.