|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Радиационно-технологические процессы микроэлектроникидоклад на конференции
- Авторы: Лагов П.Б., Павлов Ю.С.
- Всероссийская Конференция : Конференция «Наука. Бизнес. Технологии», 28 ноября-2 декабря 2022, г. Москва, ИФХЭ РАН (Москва, Россия, 28 ноября-2 декабря 2022)
- Даты проведения конференции: 28 ноября - 2 декабря 2022
- Дата доклада: 30 ноября 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Лагов П.Б.
- Место проведения: г. Москва, Ленинский пр-кт, 31, к 4, ИФХЭ РАН, Russia
- Добавил в систему: Павлов Юрий Сергеевич