|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование химического состава многослойной системы С/Co/Cr методом низкоэнергетичного ионного воздействиядоклад на конференции
- Авторы: Гусейнов Т.З., Бакиева О.Р.
- Всероссийская Конференция : VIII Всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов "Физические и физико-химические основы ионной имплантации" (ФФХОИИ-2022)
- Даты проведения конференции: 11-14 октября 2022
- Дата доклада: 13 октября 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Казань, Russia
-
Аннотация доклада:
В настоящей работе проведена серия экспериментов по синтезу многослойной системы C/Co/Cr на подложке из поликристаллического кремния. Проведено исследование химического состава по глубине методом электронной Оже спектроскопии с использованием профилирования потоком ионов аргона при ускоряющем напряжении 1 и 3 кэВ. Определены скорости травления каждого слоя многослойной системы и построены профили зависимости концентрации химических элементов от глубины анализа. Работа выполнена в рамках государственного задания Министерства науки и высшего образования РФ №121030100002-0. Исследования выполняли с использованием оборудования ЦКП «Центр физических и физико-химических методов анализа, исследования свойств и характеристик поверхности, наноструктур, материалов и изделий» УдмФИЦ УрО РАН.
- Добавил в систему: Бакиева Ольга Ринатовна