Модификация свойств структуры кремний-на-сапфире методом ионной имплантациидоклад на конференции
-
Авторы:
Патракеев А.С.,
Черныш В.С.,
Балакшин Ю.В.,
Иванов И.А.,
Петров Д.В.,
Голубков С.А.,
Егоров Н.Н.,
Шемухин А.А.
-
Всероссийская Конференция :
Межвузовская школа молодых специалистов "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине"
-
Даты проведения конференции:
2011
-
Тип доклада:
Устный
-
Докладчик:
Балакшин Ю.В.
-
Место проведения:
Россия, Москва, Russia
-
Добавил в систему:
Балакшин Юрий Викторович