|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Anwendung der Zerstaubung fur die Herstallung Dunner Schichten von Halbleiterverbindungдоклад на конференции
- Авторы: Yurasova V.E., Shelyakin L.B.
- Конференция : 6 - Tagung "Physik und Technik des Hochvakuums-Dunne Schichten"
- Даты проведения конференции: 1978
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Dresden, Germany, Germany
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна