|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Sputtering of nitrides by low-energy ions of different massesдоклад на конференции
- Авторы: Elovikov S.S., Mosunov A.S., Colligon J.S., Yurasova V.E., Shkarban I.I., Zykova E.Yu, Ryzhov Yu A.
- Конференция : 6-th Iberian Vacuum Meeting RIVA-6
- Даты проведения конференции: 2006
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Salamanca
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна