|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Электрохимический метод контроля снятия нарушенного слоя на кремниевых пластинахдоклад на конференции
- Авторы: Бартенев В.Я., Звероловлев В.М., Федотов В.П., Унтила Э.В., Унтила Г.Г.
- Конференция : 12-я Всесоюзная научно-техническая конференция по микроэлектронике
- Даты проведения конференции: 1987
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Тбилиси
- Добавил в систему: Унтила Геннадий Григорьевич