ИСТИНА

Статья посвящена анализу и дальнейшему совершенствованию известного метода трансфокальной сканирующей оптической микроскопии (ТСОМ), ранее предложенного другими авторами. Мы шаг за шагом анализируем этот подход и тщательно моделируем его. Наше моделирование включает в себя строгое численное решение уравнений Максвелла для электромагнитного поля света в оптическом микроскопе с использованием метода конечных разностей во временной области (FDTD) и синтез изображения TSOM в строгом соответствии с оригинальными инструкциями автора. После этого предлагается подход к синтетическому формированию трехмерных фазовых изображений объектов нанометрового масштаба с обратной проекцией волнового поля. Так же тщательно моделируем шаг за шагом, аналогично предыдущему. Затем мы сравниваем как вновь предложенный нами метод, так и старый, используя несколько эталонных тестовых объектов. Мы демонстрируем преимущества синтетических фазовых изображений по сравнению с синтезом амплитудных изображений. Наконец, мы показываем, как синтетические фазовые изображения можно использовать в алгоритмах распознавания образов для прикладных дефектоскопических целей.