|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Наномеханические системы с перестраиваемой частотой на основе подвешенных нанопроводов из нитрида кремниядоклад на конференции
- Авторы: Дорофеев А.А., Михайлов П.О., Попов Андерей А., Преснов Д.Е., Трифонов А.С., Снигирев О.В., Крупенин В.А.
- Всероссийская Конференция : Ломоносовские чтения 2023
- Даты проведения конференции: 4-14 апреля 2023
- Дата доклада: 6 апреля 2023
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Russia
-
Аннотация доклада:
Наноэлектромеханические системы (НЭМС) сыскали широкое применение на передовых направлениях науки, благодаря своей высокой чувствительности к различным внешним воздействиям. В работе представлен уникальный метод изготовления НМР с близкорасположенными управляющими электродами. Произведены теоретические оценки значений собственных частот изготовленных НМР при различных температурах.
- Добавил в систему: Дорофеев Александр Андреевич