ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
В обзоре анализируются современные фотолитографические системы без использования фотошаблонов. Приводятся их основные технические характеристики, а также факторы, ограничивающие пространственное разрешение и быстродействие. Выделяются перспективные направления развития.