|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Спектральная методика расчета и коррекции изображений бинарных масок в фотолитографии доклад на конференции
- Авторы: Рыжикова Ю.В., Поройкова А.А.
- Международная Конференция : 6-ая международная конференция молодых ученых и специалистов “Оптика-2009”
- Даты проведения конференции: 2009
- Дата доклада: 21 октября 2009
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Поройкова А.А.
- Место проведения: Санкт-Петербург, Россия, Russia
-
Аннотация доклада:
Предложены аналитические формулы для спектра функции пропускания бинарных масок, граница которых составлена из отрезков прямых и дуг окружностей. Применение полученных формул позволяет существенно повысить скорость расчетов оптических изображений при когерентном и частично-когерентном освещении. Рассмотрена коррекция изображений, основанная на преобразование формы первоначального дизайна.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна