|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Фотолитография без маски и расчет изображений, даваемых пространственным модулятором света на MEMOS-структуредоклад на конференции
- Авторы: Рыжикова Ю.В., Белокопытов Г.В.
- Всероссийская Конференция : XI Всероссийская школа-семинар «Волновые явления в неоднородных средах. Волны 2008.
- Даты проведения конференции: 2008
- Дата доклада: 22 мая 2008
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Рыжикова Ю.В.
- Место проведения: Звенигород, Московская область
-
Аннотация доклада:
В настоящей работе рассматривается задача о нахождении распределения поля волны, отраженной от поворотных зеркал пространственного модулятора света в скалярном приближении теории дифракции.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна