ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Проведены эксперименты по имплантации ионов Fe+ с энергиями 90 и 250 кэВ ми дозой 10^16 ион/см2 в монокристалл кремния с ориентацией (110). Профили распределения внедренной примеси изучались методом обратного резерфордовского рассеяния в сочетании с каналированием. Проведено сравнение профилей дефектов с результатами моделирования в программе TRIM. Показано, что при энергии 90 кэВ значение максимума распределения внедренной примеси, рассчитанное с помощью программы, превышает экспериментальные данные на 30%. С увеличением энергии разница уменьшается