|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Комплексное изучение объемной плазмохимии емкостных ВЧ-разрядов в смесях CF4/Ar и CHF3/Arдоклад на конференции
- Авторы: Зотович А.И., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Зырянов С.М., Лопаев Д.В.
- Всероссийская с международным участием Конференция : Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
- Даты проведения конференции: 5-9 июня 2017
- Дата доклада: 6 июня 2017
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Зотович А.И.
- Место проведения: Казань, Russia
-
Аннотация доклада:
Было проведено комплексное экспериментально-теоретическое исследование емкостной плазмы на частоте 81 МГц в смесях Ar/CF4/CHF3 при давлениях 50 мТорр и 150 мТорр. Широкий набор экспериментальных диагностик вместе с одномерной гибридной Монте-Карло моделью на основе метода частиц в ячейках (PIC MC) были применены для исследования плазмы. Такой комплексный подход позволил определить сложный химический состав активных частиц в плазме, а также определить потоки ВУФ фотонов на поверхность обрабатываемого материала.
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
- Добавил в систему: Зотович Алексей Иванович