![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Актуальными являются разработки непланарных технологий на основе монокристаллических трубок кремния малого диаметра, предназначенных для изготовления на их основе мощных силовых полупроводниковых приборов. Вытягивание из расплава трубок малого диаметра (35 мм) сопряжено со значительными трудностями в обеспечении необходимого вихреобразования внутри трубки. В данной работе использовалось малогабаритная установка Редмет-10, предназначенная для вытягивания монокристаллов кремния по Чохральскому. В конструкцию теплового узла этой установки были внесены существенные изменения с учетом результатов проведенного математического моделирования процессов гидродинамики, позволившие вырастить монокристаллические трубки кремния малого диаметра.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Program_2023-11-28-01.pdf | Program_2023-11-28-01.pdf | 620,3 КБ | 24 ноября 2023 [naverezub] | |
2. | Презентация | Verezub-Prostomolotov.pdf | 1,9 МБ | 24 ноября 2023 [naverezub] |