|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Experimental and Numerical Study of Capacitive RF Discharge in Metallic Chamber Serving as an Electrodeдоклад на конференции
- Авторы: Shishkin G.G., Shishkin A.G.
- Международная Конференция : XXII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG)
- Даты проведения конференции: 1995
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: Shishkin A.G.
- Место проведения: Hoboken, USA
- Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич