ИСТИНА

Одним из эффективных методов исследования наномасштабных объектов на поверхности материалов, биологических образцов и др., является метод сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) рельефа. Регистрация информации о рельефе поверхности получается при помощи сканирования поверхности образца. В процессе регистрации эта информация оказывается искаженной вследствие неидеальности системы, наличия шумов и др. В том числе одной из проблем СЗМ является компенсация искажений. В данном исследовании был применен ряд классических методов обработки и анализа изображений для компенсации искажений в оценках рельефа, полученных при помощи СЗМ.