ИСТИНА

Дигидроортофосфат калия (KDP) является важным нелинейным материалом для ряда технологических областей благодаря своим уникальным оптическим и физическим свойствам, таким как удвоение частоты, высокая эффективность нелинейного преобразования и отличные фотоэлектрические и пьезоэлектрические свойства. Однако это труднообрабатываемый материал в виду его сложной анизотропной микроструктуры и способности растворяться в воде. Одним из современных направлений развития финишных методов прецизионной обработки поверхностей нелинейных оптических элементов (НОЭ) и оптических деталей является использование магниточувствительных дисперсных систем. Нами разработана магнитореологическая суспензия (МРС) на основе монобутилового эфира диэтиленгликоля с наночастицами абразивного материала. МРС подаётся в зону обработки при одновременном воздействии на неё магнитного поля с градиентом, направленным от поверхности обрабатываемой детали. При этом абразивные наночастицы перемещаются к поверхности вращающегося жгута МРС, структурирующегося в магнитном поле, и прижимаются с достаточной силой к поверхности полируемой оптической детали. Давление на поверхность обрабатываемой детали при такой схеме реализации способа незначительное. Однако МР-полирование позволяет удалять поверхностные дефектные слои, что в ряде случаев обеспечивает повышение лучевой лазерной прочности оптического изделия в несколько раз. Существенным отличием технологии МР-полирования от традиционных видов обработки является то, что отделенный с поверхности материал постоянно уносится из рабочей зоны потоком жидкости и обеспечивает эффективный отвод тепла, тем самым минимизируя температурное воздействие на обрабатываемую поверхность. Контроль глубины съема материала KDP проводился на интерферометре фазового сдвига.Технологический процесс финишной обработки поверхностей деталей с использованием программного обеспечения осуществлялся итерационным способом с учетом коррекции формы поверхности по результатам интерферометрического контроля.