ИСТИНА

Магнетроны широко применяются для модификации поверхностей обрабатывающих инструментов и деталей механизмов. Нанесение защитного слоя на рабочие поверхности деталей увеличивает их срок службы [1]. Пары трения контактируют в тонком слое между внутренней и внешней поверхностями. Для нанесения покрытий на внутренние поверхности дета-лей можно использовать коаксиальные магнетроны. Обрабатываемые цилиндрические детали устанавливают внутрь внешнего цилиндра магнетрона. Распыляемый катод находится в центре магнетрона. Для распыления катода используются аргон или его смесь с азотом, кислородом или мета-ном для нанесения нитридов, оксидов и карбидов металлов. Антифрикционный слой должен быть мягким для снижения коэффициента трения и получения улучшенных противозадирочных свойств на этапе приработки, а также иметь твердость для износостойкости покрытия [2]. Твердый внутренний слой двухслойного покрытия может содержать соединения AlN, SiN4, BC, Al2O3, CrO. Антифрикционный внешний слой покрытия может содержать MoS2, WS2, графит, оксиды свинца и титана. Сплавы для вкладышей подшипников AlSn и AlPb можно также применять для изготовления центрального катода магнетрона. Если распылять эти матери-алы в среде азота, то можно получить твердое покрытие AlN, так как Sn и Pb не образуют нитридов. Переход на распыление в среде аргона даст возможность получить мягкое покрытие AlSn и AlPb. Если изменять содержание Al, Sn или Pb в сплаве, то можно получить включения мягкой составляющей в твердой матрице и наоборот.