Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Direct dynamic DFT study of possible reaction mechanism of low-k SiOCH films with nitrogen atoms
доклад на конференции
Авторы:
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
Международная Конференция (Конгресс) :
WATOC 2017 - 11th Triennial Congress of the World Association of Theoretical and Computational Chemists
Даты проведения конференции:
27 августа - 1 сентября 2017
Дата доклада:
29 августа 2017
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
Voronina E.N.
не указан
Voronina E.N.
Rakhimova T.V.
Mankelevich Yu A.
Место проведения:
Мюнхен, Germany
Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Добавил в систему:
Воронина Екатерина Николаевна