|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Силовая нанолитография на поверхности металловдоклад на конференции
- Авторы: Попов В.В., Каминская Т.П.
- Международная Конференция : "Техноюнити - Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники - 2017"
- Даты проведения конференции: 9-12 октября 2017
- Дата доклада: 11 октября 2017
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: г.Зеленоград, Russia
-
Аннотация доклада:
Сканирующий зондовый микроскоп был использован для получения микрорельефа на поверхностях металлов. С помощью зондов с алмазным покрытием и с монокристаллическим алмазом получены структуры глубиной более 200 нм на поверхностях никеля и меди.
- Добавил в систему: Попов Владимир Викторович