ИСТИНА

Реализованы радиационно-технологические процессы модификации статических и динамических характеристик кремниевых биполярных приборов различных классов на различные рабочие токи (от единиц мА до десятков кА) и напряжения (от единиц В до 8 кВ): силовые диоды и тиристоры, СВЧ биполярные и БТИЗ-транзисторы, импульсные диоды, прецизионные стабилитроны (всего более 50 типономиналов), выпускаемые различными отечественными предприятиями. Модификация обусловлена формированием в приборных структурах электрически активных и стабильных в области рабочих температур субнаноразмерных центров рекомбинации. Технологии осуществляются на воздухе с высокой производительностью и управляемостью, являются альтернативными термодиффузионному легированию (Au, Pt) и обработке легкими ионами.