|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в D2, Ne и их смесяхдоклад на конференции
- Авторы: Буховец В.Л., Городецкий А.Е., Залавутдинов Р.Х., Маркин А.В., Золотаревский В.И., Мухин Е.Е., Казанский Л.П., Рыбкина Т.В., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Архипушкин И.А.
- Международная Конференция : XXI конференция "Взаимодействие плазмы с поверхностью"
- Даты проведения конференции: 24-25 января 2018
- Дата доклада: 25 января 2018
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Буховец В.Л.
- Место проведения: Москва, Russia
- Добавил в систему: Залавутдинов Ринад Харисович