|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Методы элементного анализа твердых телучебный курс
- Автор: Черныш В.С.
- Год создания: 2007
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Описание: В курсе лекций рассматриваются методы анализа состава и структуры поверхности твердотельных структур, основанные на регистрации вторичных частиц, индуцированных облучением пучками ускоренных ионов, электронов и рентгеновским излучением. Приводятся характеристики процессов эмиссии вторичных частиц из твёрдого тела под действием ионного и электронного облучения. Показано, что информация об элементном составе поверхности содержится в энергетических спектрах рассеянных ионов и масс-спектрах распылённых атомов и ионов. Обсуждается роль распыления и, в частности, роль селективного распыления в элементном анализе твердых тел. Демонстрируется, каким образом ориентационные эффекты при взаимодействии заряженных частиц с кристаллами могут быть использованы для анализа кристаллической структуры тонких приповерхностных слоёв. Основное внимание уделяется методам, которые широко применяются в научных исследованиях и технологии: резерфордовское обратное рассеяние, спектроскопия рассеяния ионов низких и средних энергий, масс-спектрометрия вторичных ионов и распылённых нейтралей, оже- и фотоэлектронная спектроскопия и микроанализ. Сообщаются результаты экспериментального изучения влияния различных видов обработки на состояние поверхности, процессов сегрегации и адсорбции, структурных фазовых превращений, наноструктур, распределения компонентов материала по поверхности и глубине. Рассматривается устройство анализаторов и детекторов вторичных частиц, а также требования, предъявляемые к условиям проведения анализа. Обсуждаются перспективы развития методов диагностики твердотельных структур с использованием ионного и электронного зондов.
- Добавил в систему: Черныш Владимир Савельевич
Преподавание курса
- 6 сентября 2017 - 31 декабря 2023 Иешкин Алексей Евгеньевич
- МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение радиофизики, Кафедра физической электроники
- обязательная, вариативной части, лекции, 36 часов
- Автор: Черныш В.С.
- с 1 сентября 2010 Черныш Владимир Савельевич
- МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение радиофизики, Кафедра физической электроники
- обязательная, вариативной части, лекции, 36 часов
- Автор: Черныш В.С.