Описание:Спецкурс является продолжением спецкурса «Физические основы газового разряда» и отли-чается физически более полным и математически более строгим рассмотрением процессов в газовом разряде. Он рассчитан на подготовку специалистов и магистров, специализирую-щихся в области разработки источников газоразрядной плазмы и ионов, технологических плазменных реакторов. В спецкурсе рассмотрены такие задачи, как влияние формы реактора на однородность пространственного распределения плотности частиц, возможности управления функцией распределения электронов и ионов по энергиям за счет изменения структуры полей в плазме, работы в локальном и нелокальном режимах ФРЭЭ, нарушения адиабатичности движения частиц в поле, принципиальные для разработки технологических реакторов низкого давления, а также физика формирования стационарных объемных разрядов, распространения волн ионизации.