Аннотация:Бакалаврская работа Козлова И.С. посвящена изучению методов формирования и диагностики атомарно-гладких поверхностей на монокристаллах кремния. Значительное внимание в работе уделяется методам сканирующей тунельной и атомно-силовой микроскопии, использованным автором для описания рельефа поверхности исследуемых образцов. Важной особенностью работы является использование оборудования сверхвысокого вакуума, обеспечивающего условия формирования кремниевых наноструктур, недоступные другим методикам. Для диагностики симметрии и элементного состава поверхностных структур автор использует методы электронной дифракции и спектроскопии, которые были им успешно освоены в процессе выполнения работы.