Зондовое исследование неравновесного сильно неоднородного электродного сверхвысокочастотного разряда пониженного давления в азотедипломная работа (Бакалавр)
Аннотация:Целью работы было проведение исследования пространственных распределений параметров электронной компоненты плазмы электродного сверхвысокочастотного разряда в азоте методом двойного электрического зонда.