Химическое газофазное осаждение длинномерных биаксиально-текстурированных пленок диоксида ванадия - материала с переходом диэлектрик-металлдипломная работа (Бакалавр)
Аннотация:Целью данной работы является химическое осаждение длинномерных биаксиально текстурированных пленок диоксида ванадия методом MOCVD на гетероструктуры Y2O3/YSZ/MgO/Hastelloy и YSZ/MgO/Hastelloy. В результате работы получены следующие результаты:
1. Синтезирован гексафторацетилацетонат ванадила – летучий прекурсор для получения пленок VO2 методом MOCVD.
2. Получены тонкие пленки диоксида ванадия на монокристаллических подложках (001)YSZ, обладающие биаксиальной текстурой с тремя вариантами роста.
3. Для получения биаксиально текстурированных пленок Y2O3/YSZ/MgO/Hastelloy и YSZ/MgO(IBAD)/Hastelloy установлены следующие оптимальные условия нанесения: толщина слоя YSZ (>30 нм), температура (750 С) и время отжига слоя MgO (>15 мин).
4. Получены биаксиально ориентированные пленки диоксида ванадия на лентах YSZ/MgO/Hastelloy и Y2O3/YSZ/MgO/Hastelloy. Изучение транспортных свойств полученных пленочных материалов на основе диоксида ванадия показало, что введение дополнительного буферного слоя Y2O3 после YSZ улучшает транспортные свойства диоксида ванадия, что связано с меньшим углом разориентации ячеек VO2 и Y2O3 относительно друг друга. Установлено, что в процессе осаждения пленок диоксида ванадия из паров гексафторацетилацетоната происходит образование промежуточного слоя оксофторида иттрия.
5. Полученные материалы VO2/Y2O3/YSZ/MgO/Hastelloy демонстрируют переход диэлектрик-металл с величиной изменения сопротивления около 1000 раз при температуре 55 С.