|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Разработка и исследование акустоэлектронных нанобиосенсоровдипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: А.Е. Мельников
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2018
- Аннотация: Разработан, создан и исследован базовый вариант гибридных сенсоров нового поколения, в котором реализованы совмещенные акустоэлектронные и наноэлектронные технологии. Разработана топология системы электродов, совмещающих на чипе на основе кристалла ниобата лития акустическую линии задержки и универсальную электронную наноструктуру, позволяющую реализовать различные варианты наноэлектронных датчиков. С помощью оптической литографии создан чип с системой встречно-штыревых преобразователей, формирующей акустическую часть гибридного сенсора, а с помощью разработанного оригинального способа создания наноструктур на низкопроводящих подложках с использованием негативной электронно-лучевой нанолитографии в эту систему встроена система нанопроводов, позволяющая реализовать и исследовать макет акустоэлектронного нанобиосенсора. Показано, что в изготовленных элементах действительно распространяются расчетные акустические поверхностные моды с рабочими частотами порядка нескольких мегагерц в соответствующих кристаллографических направлениях, имеющих различные коэффициенты электромеханической связи и различные скорости распространения.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич