Аннотация:Разработан, создан и исследован базовый вариант гибридных сенсоров нового поколения, в котором реализованы совмещенные акустоэлектронные и наноэлектронные технологии. Разработана топология системы электродов, совмещающих на чипе на основе кристалла ниобата лития акустическую линии задержки и универсальную электронную наноструктуру, позволяющую реализовать различные варианты наноэлектронных датчиков.
С помощью оптической литографии создан чип с системой встречно-штыревых преобразователей, формирующей акустическую часть гибридного сенсора, а с помощью разработанного оригинального способа создания наноструктур на низкопроводящих подложках с использованием негативной электронно-лучевой нанолитографии в эту систему встроена система нанопроводов, позволяющая реализовать и исследовать макет акустоэлектронного нанобиосенсора. Показано, что в изготовленных элементах действительно распространяются расчетные акустические поверхностные моды с рабочими частотами порядка нескольких мегагерц в соответствующих кристаллографических направлениях, имеющих различные коэффициенты электромеханической связи и различные скорости распространения.