|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование влияния эффектов близости при формировании рельефных дифракционных оптических элементов в слоях электронных резистовдипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Попов Владимир Викторович
- Автор: Сомов Андрей Сергеевич
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2012
- Аннотация: Экспериментально определена зависимость растворимости позитивного резиста ЭРП-40 от дозы облучения электронами с энергией 20 кэВ Создана компьютерная модель рассеяния электронов в толще резиста для расчета поглощенной слоями резиста дозы при различных алгоритмах экспозиции и последующей симуляции процесса травления Полученные результаты использованы для создания дифракционных оптических элементов с асимметричным профилем штриха с высокой дифракционной эффективностью
- Добавил в систему: Попов Владимир Викторович