Аннотация:В результате выполнения работы был проведен теоретический анализ стандартного подхода исследования многослойной периодической структуры Fe/ Cr/ Gd с учетом специфики объекта. Предложена модификация этого метода, основанная на резонансном поведении оптических свойств материалов. На основании экспериментальных данных резонансной рентгеновской рефлектометрии решалась задача по восстановлению модели распределения химических элементов в периоде многослойной структуры.
На основании анализа экспериментальных данных рентгеновской рефлектометрии для энергий 5982 эВ и 7110 эВ были построены и проанализированы профили оптической константы и распределения материалов в периоде. Таким образом, в результате решения поставленных задач можно сделать следующие выводы:
• Использование одной длины волны в стандартном подходе рентгеновской рефлектометрии не позволяет получить достаточно информации для достоверного анализа структуры из композиции материалов близких по оптической плотности.
• Экспериментальные кривые резонансной рентгеновской рефлекометриим чувствительны к изменению контраста профилей оптических констант при измерении энергии. Таким образом, для характеризации системы Fe/ Cr/ Gd использование совместного анализа трех кривых рентгеновской рефлектометрии на краях поглощения железа и хрома, а также вблизи края поглощения гадолиния, позволяет получить распределение элементов по периоду многослойной системы.
• Восстановленная модель распределения из экспериментальных данных полученных на краю Cr и Fe показала присутствие протяженных интерфейсов как Gd-Cr, так и Fe-Cr порядка 1.2-1.4 нм, обусловленных взаимной диффузией атомов соседних слоев.