|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Обработка нанопористых диэлектрических материалов в плазме индукционного разрядадипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Зырянов Сергей Михайлович
- Автор: Шибанов Даниил Романович
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2018
- Аннотация: Дипломная работа посвящена экспериментальному исследованию распыления кремния и нанопористых диэлектрических материалов ионами аргона и ксенона с энергиями менее 200 эВ в низкотемпературной плазме индукционного разряда.
- Добавил в систему: Зырянов Сергей Михайлович