Аннотация:Исследована кинетика релаксации медленных фотоиндуцированных метастабильных состояний (ФМС) в пленках a-Si:H, легированных бором. Пленки предварительно освещались белым светом малой интенсивности, что позволяло наблюдать образование и релаксацию только медленных ФМС, механизм образования которых связан с активацией атомов бора. Установлено, что кинетика релаксации фотоиндуцированных метастабильных атомов бора описывается растянутой экспонентой. Исследованы зависимости параметров кинетики релаксации ФМС от времени освещения.