|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Наноэлектромеханический резонатор на основе нитрида кремниядипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Преснов Д.Е.
- Автор: Попов А.А.
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, кафедра физики полупроводников и криоэлектроники
- Год защиты: 2020
- Аннотация: Бакалаврская работа посвящена разработке методов изготовления высокодобротного наноэлектромеханического резонанса на основе нанопровода из нитрида кремния. Тема работы является очень актуальной, поскольку в последнее время происходит бурное развитие электронмеханических систем, как на микро, так и на нано уровне. К примерам МЭМС и НЭМС систем можно отнести акселерометры, гироскопы, чувствительные датчики, микро- и нанопереключатели и другие. Поиск новых материалов является очень важной задачей, позволяющей создавать наноэлектромеханические сенсоры с уникальными параметрами и широким спектром применения. Работа состоит из введения и трех глав. В конце работы приводятся выводы, заключение и список литературы. Во введении автор обосновывает актуальность работы и формулирует цели и задачи исследования. Выбранный материал для изготовления наноэлектромеханического резонатора обладает высокой химической и структурной стабильностью, что в конечном счете позволяет добиться большей механической добротности изготавливаемой структуры. В первой главе приводится литературный обзор. Автор делает обзор основных областей применения наноэлектромеханических систем. В следующих главах приводится описание технологии изготовления устройства, описываются методики измерения характеристик и расчета основных параметров резонатора. В конце работы обсуждаются полученные результаты и делаются выводы.
- Добавил в систему: Преснов Денис Евгеньевич