|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Особенности поверхности карбида кремния на разных стадиях легирования атомами азотадипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Трифонов А.С.
- Автор: Андалашвили Мэри Зелимхановна
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова, ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ, КАФЕДРА ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И КРИОЭЛЕКТРОНИКИ
- Год защиты: 2022
- Аннотация: 1. Методом атомно-силовой микроскопии были измерены шероховатости поверхности неотожженных и отожженных образцов карбида кремния. До отжига эта величина лежит в диапазоне 1.5-4.4 нм. После отжига в вакууме при температуре от 1400°C шероховатость поверхности уменьшается до величины меньше одного нм за счет сглаживания царапин, оставшихся после процесса химико- механической планаризации. 2. Отжиг в атмосфере азота приводит к появлению трудно устранимой пленки нитрида кремния на поверхности. Отжиг в вакууме приводит к появлению легко устранимой пленки углерода на поверхности. 3. Встраивание атомов азота в кристаллическую решетку карбида кремния начинается при температуре отжига 1250°C, при температуре 1600°C встраивается гораздо больше атомов, что приводит к уменьшению поверхностного сопротивления карбида кремния более чем на порядок
- Добавил в систему: Трифонов Артем Сергеевич