Аннотация:В данной работе разработана и реализована конфигурация электродов молекулярного одноэлектронного транзистора с «утопленным» в подложку затвором и, на этой основе, изготовлен прототип молекулярного одноэлектронного транзистора. При этом получены следующие основные результаты.
Разработана топология системы электродов для формирования на кремниевой подложке молекулярного одноэлектронного транзистора с «утопленными» в подложку электродом управления и макросистемой подводящих к транзистору проводов. Это направлено на существенное увеличение управляющей эффективности затвора и возможность регистрации нескольких ромбов кулоновской блокады туннельного тока через транзистор при построении его диаграммы состояний.
Разработаны методики формирования молекулярных одноэлектронных транзисторов с «утопленным» в подложку затвором, изоляции затворов слоем Al2O3 толщиной 40 нм, защитной изоляции всего образца слоем диоксида кремния и выявлены наиболее надежные способы реализации этих методик. Определены наиболее пригодные материалы и параметры слоев для формирования каждого слоя многослойной структуры такого транзистора. Определено предельное значение напряжения управления между затвором и истоком при комнатной температуре, равное 4,7 В.
На основе молекулы аурофильного производного терпиридина разработан и изготовлен прототип молекулярного одноэлектронного транзистора с расположением затвора непосредственно под молекулой. Измерения диаграммы состояний изготовленных транзисторов при температуре 4,2 К показали типичный для одноэлектронных транзисторов ромбический вид этих диаграмм, что свидетельствует о коррелированном характере электронного транспорта через молекулу в изготовленных транзисторах.
Анализ диаграмм состояний изготовленных транзисторов позволил определить значение емкости затвора - 50 зФ, Полученное значение емкости затвора на порядок больше емкости затвора в конфигурации «затвор сбоку», что и показывает значительное увеличение эффективности затвора в изготовленном транзисторе. Максимальная величина кулоновской блокады в изготовленных транзисторах (диагональ ромба) достигает аномально высокого значения 1 В, что свидетельствует об атомарной малости зарядового центра транзистора.
Таким образом, исходя из перечисленных результатов, можно сделать вывод о том, что изготовленный транзистор может стать надежной основой для дальнейших исследований, а также для использования его в качестве базы секвенатора ДНК.