Аннотация:Работа Горелкиной А.Д. была связана с проведением экспериментов по осаждению графеноподобных пленок в плазме тлеющего разряда. Работа была направлена на верификацию теоретической модели, описывающей процессы, протекающие в объеме метан-водородной плазмы. Важность и актуальность работы заключалась в том, что углеродные пленки, полученные таким способом, имеют целый ряд потенциальных применений в различных тонкопленочных приложениях. При этом понимание плазмохимических процессов, протекающих в процессе синтеза пленок, позволяет получать материал с заранее заданными функциональными характеристиками.