Эмиссионная спектроскопия неравновесного электродного сверхвысокочастотного разряда в азоте в присутствии постоянного электрического полядипломная работа (Магистр)
Аннотация:Проведено исследование влияния внешнего постоянного электрического поля на пространственное распределение электрических полей (сверхвысокочастотного и постоянного) в плазме электродного сверхвысокочастотного разряда в азоте на основе обработки полученных экспериментальных эмиссионных спектров излучения разряда.
Рассчитаны напряженности электрических полей и проанализированы их аксиальные распределения при давлении 1-9 Торр и падающей мощности до 200 Вт при разных величинах постоянного внешнего поля.