|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Микролинзовая оптическая микроскопия с преодолением дифракционного пределадипломная работа (Магистр)
- Научный руководитель: Яминский Игорь Владимирович
- Автор: Сенотрусова Софья Андреевна
- Тип: Магистр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова, физический факультет МГУ имени М.В.Ломоносова
- Год защиты: 2024
- Аннотация: В работе приведены результаты исследований с использованием прозрачных микролинз из таких материалов, как BaTiO3 (диаметром от 20 мкм до 100 мкм), TiO2 (диаметром от 10 до 60 мкм) и полиметилакрилата (диаметром 9 мкм). Исследования проводились и на воздухе, и в жидкой среде (использовались силиконовое и иммерсионное масла). С помощью микролинзовой оптической микроскопии были получены изображения топологий микросхем, образцов с нанесенным покрытием с полыми структурами от 5 до 20 мкм. В результате благодаря использованию микролинз было получено разрешение более 150 нм и преодолен дифракционный предел.
- Добавил в систему: Яминский Игорь Владимирович