Аннотация:В данной работе речь пойдет о создании принципиально нового сканирующего микроскопа, позволяющего измерять распределение электрического заряда на поверхности исследуемого образца с уникальной чувствительностью. В его основу положен метод сканирования камертоном (tuning fork), который позволил в качестве сенсора использовать макроскопический зарядовый сенсор на основе полевого транзистора с каналом - нанопроводом. Так же будут рассмотрены различные методики работы методом сканирования камертоном, определены оптимальные параметры сканирования и дана сравнительная характеристика уже известных методов измерения распределения электрического потенциала.